1、前言

        在光電元器元器和集成式集成運放技術性中，食材、晶圓、心片的檢驗是必切不可少的重要環節。隨之光電元器元器檢驗技術性的未來發展，數字66源表SMU整合測試圖片軟件電極臺的機系統組合成就已經被大面積應用軟件于食材/細小元器的電學功用核驗中。數字66源表SMU掌握源測功用，不錯發生直流電-電阻(I-V)功用斜率，是光電元器元器食材、元器電使用性能定性分析檢測的的重要；測試圖片軟件電極臺有手動式、半自主和全自主哪幾種，會按照檢驗必須選擇使用生活配套的車輛才可以。在選擇使用時必須要留意測試圖片軟件電極的板材、針尖的直勁與形式，測試圖片軟件電極板材其他，其特性阻抗都不相似；還有，測試圖片軟件電極尖破損和被污染也會對檢驗結果顯示有直接影響。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、電極、DUT接提示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        探頭臺與源表的相連種類有倆種，另一個說的是種用到同中心線相連，另另一個說的是種用到三同中心線相連。當自動測量小電流量值(nA、pA)時，應用到三同軸轉移引擎和三同中心線纜。在對接源表護理端試驗集成運放中，是由于三同軸的護理層與內芯區間內是等電勢，不也有漏電流量值產生，也可以延長小電流量值試驗計算精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2隔熱；3內關閉層；4間層；5外關閉層；6外保護套）

圖：三同定位軸線纜等效電路設計圖

  上圖隨時為三同中心電纜線等效控制電源電路圖，輸出的高級HI和Guard之中的電位差差近乎為0，得以削除電纜線自己的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S系交流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸聯接器與常見兩芯聯接器有一些·各種不同，可而且接駁無線電磁波、等電位無線連接和攔截層，攔截成效好。和多芯數據線相對比，三同軸數據線設計單純，穩定可靠性強；和兩芯同軸數據線相對比，兼有極高的攔截耐熱性和小無線電磁波的高速傳輸的能力。三同軸數據線的聯接辦法采用了GUARD無線電磁波，達到了攔截功用，更重要于小無線電磁波的測試。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

使用的杜邦線轉BNC母頭去進行連接；

- 三同軸連接 -

選用三同軸轉移控制器做出連到。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

隨便應用三同軸網去鏈接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將通常的三同軸換洗為高電壓專業級三同定位軸線；超高壓力三同軸線金屬接頭的抗壓試驗力較為強烈，普賽斯采用的超高壓力三同軸線金屬接頭就可以抗壓試驗3500V。

圖：左-各類高壓三同軸、右-常見的三同軸

HCPL 100大電流源表

大電壓瞬時電流大小測定時，單根測式電極允許的電壓瞬時電流大小有限制，電壓瞬時電流大小過大可能會進而引發燒針的問題，會影響測式導致，這樣必須 的使用多測式電極串聯。

圖：多電極串連示意圖

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電級拼接示意圖

圖：異面工業聯接圖示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。