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用心打造于半導體材料電穩定性測量

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

來自:admin 時長:2024-03-06 13:16 打開網頁量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:脈沖信號源表P300+電極臺

異常現象:測試中存在一個3nA左右的漏電流

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圖:錯誤測試圖片的趨勢圖

異常原因:測試現場的連接線屏蔽層接地不達標,外界電磁環境的作用下使設備對大地的電位發生變化,造成設備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:SEO優化后測試軟件等值線圖


2、三極管測試

測試設備:2臺整流源表S300+探頭臺

異常現象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當輸出的電壓小于0.5V時,源表回讀的電壓值為-0.5V

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圖:發現異常檢查報告

不正確其原因:探頭臺無跨接,探頭臺結構類型上都有著彩石,在導電的區域時會都有著靜電反應,關鍵在于對考試最終結果造成 作用

系統優化的措施:將檢測器臺按照輸電線連通山河

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圖:整合后自測結局

3、芯片測試

測試設備:直流電源源表S300+電極臺

異常現象:源表未輸入,測試探針冒愛情火花

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圖:問題測試英文-檢測器冒小火花

異常原因三同定位軸線纜GUARD訊號沒有支撐折疊式。GUARD訊號如對接正規,其電勢與訊號層基本上統一,全部漏電比較小 ,而使對訊號起到了沒事定的保護好反應;但GUARD訊號沒有支撐折疊式,其與訊號層的電勢差較高,這樣的漏電較高,對訊號的干擾挺大

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優化措施:將GUARD網絡表現和接入源表,使GUARD網絡表現達到保障效應

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實際顯示-2.69V

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圖:異常情況軟件測試最終結果

異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過導線接入大地


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圖:改善后測試方法效果

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